·  非接触式无损测量，可测大气、真空和液体环境下的样品。

·  Z方向测量精度为亚纳米，XY方向测量面积大。

·  对样品没有反射率要求，对于几乎透明的材料都能获得很好的测量结果，如SU8胶。

·  针对研究微纳器件、MEMS传感器，如悬臂梁，桥，薄膜等。

·  无需聚焦得到图像，可测不平度比较大的表面。

·  采用TRACKER技术和基于LabVIEW的专用用户友好软件。

·   标记和非标记生物检测。

·  检测灵敏度高，速度更快，高通量。

应用：

•      MEMS器件的表征（动态和静态特性）、
•      薄膜特性（分子动力学和玻璃态转化）、
•      表面特征检测、
•      生物芯片的应用（超灵敏）、
•      生化分析、
•      药物研究、
•      医疗诊断、
•      环境监测和基因分析等

     同时，我们提供样品测试服务。